【消息】FSIANTARES系统随90nm器件技术广泛应用
发布时间:2020-11-17 10:32:46
阅读:次
来源:防腐剂厂家
FSI国际有限公司(纳斯达克:FSII)近日宣布:在2005财年第三季度中,来自欧洲、亚太地区、日本以及美国的领先集成电路制造商对于ANTARES® 超凝态过冷动力学清洗系统的需求十分强劲。传统上用于后段(BEOL)缺陷去除的ANTARES系统,随着客户将90nm器件技术应用于批量生产而得到了更广泛的应用。 此外,最近在机台喷嘴设计和工艺性能方面的创新将ANTARES系统扩展到前段(FEOL)缺陷去除应用,其中最为显著的是在容易被破坏的栅结构上实现了微粒去除,而且毫不损坏或腐蚀表面材料。 “ANTARES系统持续为全球范围内的新老客户带来收益,由于更多的90nm器件制造进入了大批量生产以及未来技术节点逐步变为现实生产,我们预计客户的兴趣将会继续增长,” FSI董事长和首席执行官Don Mitchell这样说到。“伴随着铜、多孔低介电常数以及其它新材料和敏感结构对无损伤清洗方式的要求,超凝态过冷动力学技术提供了稳定可靠的、经验证过的途径,来帮助集成电路制造商在高级器件制造领域提高成品率。
相关阅读
- DSM推出乙烯基酯碳纤维新品美容镜螺纹胶透明脚垫玉石炉料Frc
- 织物数码喷墨印花技术新进展和应用前景裘皮玩具交换机圆度仪花生油活动围栏Frc
- 河南省人社厅杨昆锋一行到中国一拖调研0茂名光学棱镜斗篷液压钳密纹网Frc
- 日本三井化学增加新发泡烯烃薄膜生产线精密刀具海绵机械现场总线隔热手套家用开关Frc
- 直线电机齿槽力与槽极数的变化规律真空阀轴封除锈剂字典纸绿化工程Frc
- 传统胶印在北美印刷市场份额下降到60餐饮设备除油剂碟簧五趾袜铸铁件Frc
- 工业机器人系统集成迎来爆发期江苏北人受益钻探滚齿机喷涂材料探头防水箱Frc
- 维稳市场资金面央行开展1100亿元逆回购清洁剂吻角瓦合金压铸棉花糖机汽车香水Frc
- 新型PP透明剂具有市场发展潜力0秤盘润滑脂宠物球泥浆泵裁条机Frc
- 滁州天长组织10万台农机战三秋锻钢球高斯计锻钢球阀绕线机橡胶蝶阀Frc