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【消息】FSIANTARES系统随90nm器件技术广泛应用

发布时间:2020-11-17 10:32:46 阅读: 来源:防腐剂厂家

FSI国际有限公司(纳斯达克:FSII)近日宣布:在2005财年第三季度中,来自欧洲、亚太地区、日本以及美国的领先集成电路制造商对于ANTARES® 超凝态过冷动力学清洗系统的需求十分强劲。传统上用于后段(BEOL)缺陷去除的ANTARES系统,随着客户将90nm器件技术应用于批量生产而得到了更广泛的应用。 此外,最近在机台喷嘴设计和工艺性能方面的创新将ANTARES系统扩展到前段(FEOL)缺陷去除应用,其中最为显著的是在容易被破坏的栅结构上实现了微粒去除,而且毫不损坏或腐蚀表面材料。 “ANTARES系统持续为全球范围内的新老客户带来收益,由于更多的90nm器件制造进入了大批量生产以及未来技术节点逐步变为现实生产,我们预计客户的兴趣将会继续增长,” FSI董事长和首席执行官Don Mitchell这样说到。“伴随着铜、多孔低介电常数以及其它新材料和敏感结构对无损伤清洗方式的要求,超凝态过冷动力学技术提供了稳定可靠的、经验证过的途径,来帮助集成电路制造商在高级器件制造领域提高成品率。

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